塗布タイプ拡散ソース

Spin-On Dopants (SOD)

(by Filmtronics, ISO certified 9001/14001)
P-type

N-type

Lifetime Modifier
Passivation
化合物半導体用

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P-type

Dopant compound
SiO2

Aluminium (Al)

  • Al シリ−ズ
Al
SiO2 タイプ

Al
non-SiO2 タイプ

  • AlB シリ−ズ
Al, B
non-SiO2 タイプ

  • AlGa シリ−ズ
Al , Ga
SiO2 タイプ

Boron (B)

  • B シリ−ズ
B
SiO2 タイプ

B
non-SiO2 タイプ 

  • PBF シリ−ズ
B
non-SiO2 タイプ 

  • BORON-A
B
non-SiO2 タイプ 

Gallium (Ga)

  • Ga シリ−ズ
Ga
SiO2 タイプ
  • GaB シリ−ズ
Ga , B
non-SiO2 タイプ 

* ご希望の濃度・粘度に合わせたサンプル作成も可能です。ご相談下さい。


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