塗布タイプ拡散ソース

Spin-On Dopants (SOD)

(by Filmtronics, ISO certified 9001/14001)
P-type
N-type
Lifetime Modifier
Passivation
化合物半導体用

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N-type

Dopant compound
SiO2

Antimony (Sb)

  • Sb シリ−ズ
Sb
SiO2 タイプ

Arsenic (As)

  • As シリ−ズ
As
SiO2 タイプ

Phosphorous (P)

  • P シリ−ズ
P
SiO2 タイプ

P
non-SiO2 タイプ

* ご希望の濃度・粘度に合わせたサンプル作成も可能です。ご相談下さい。


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